氖气、氦气、氮气这三种气体本身对大多数金属和非金属材料都几乎没有化学腐蚀性，ASCO电磁阀密封膜片NBR（丁腈橡胶）和FKM/FPM氟橡胶都适选择，FKM膜片可以确保气体的纯净度和阀门的长期可靠性。